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　　觀察光學(xué)鍍膜機(jī)靶陰極電弧的燃燒情況，每當(dāng)電弧熄滅前，能發(fā)現(xiàn)電弧弧斑比較粗糙。有時(shí)甚至出現(xiàn)堆團(tuán)狀弧斑。熄滅后觀察靶面已發(fā)紅，靶表面溫度很高。粗糙弧斑的出現(xiàn)，使弧電流較集中于靶面一點(diǎn)，導(dǎo)致了弧斑下靶面斑點(diǎn)電流過于集中，使弧斑下的靶面溫度很高而產(chǎn)生大量的熱電子發(fā)射。
　　靶面局部大量的熱電子發(fā)射的結(jié)果，一方面中和了大量的空間電荷，使陰極表面上的電場成為減速場，甚至導(dǎo)致陰極表面上的電場等于零。另一方面，大量的熱電子發(fā)射對(duì)陰極表面產(chǎn)生相當(dāng)大的冷卻作用。結(jié)果既沒有空間電荷產(chǎn)生的很大電場來維持表面發(fā)射，也不具備很高表面溫度來產(chǎn)生熱電子發(fā)射，導(dǎo)致電弧的熄滅。
　　所以在光學(xué)鍍膜機(jī)多弧靶源的設(shè)計(jì)中，應(yīng)注意給陰極靶以充分的冷卻，盡量采用直接水冷，間接水冷時(shí)，陰極座等相鄰部件應(yīng)選用導(dǎo)熱性能良好的材料（如銅、鋁等）。