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　　真空鍍膜機使用機械泵、機械泵也被稱為前級泵、機械泵是應用較廣的低真空泵油保持密封效果和依靠機械方法不斷改變泵吸入腔的體積，所以容器內(nèi)氣體的體積膨脹以獲得真空。機械泵有很多種，常用的滑閥式、往復活塞式、固定板式和回轉(zhuǎn)板式四種類型。
　　機械泵常用于清理干燥空氣，但不能清理過量的氧氣、爆炸性和腐蝕性氣體，但對水煤氣效果不好，所以不能清理水煤氣。轉(zhuǎn)子泵過程中起著重要作用的組件定子，轉(zhuǎn)子，彈片等，轉(zhuǎn)子與定子軸定子但不同,像兩個內(nèi)圈，轉(zhuǎn)子槽設有兩個彈片，兩個彈片中間的彈簧，保障彈片緊密附著在定子內(nèi)壁。
　　它的兩個彈片交替發(fā)揮著兩種作用，一方面從吸入氣體，另一方面，壓縮氣體已經(jīng)吸入，氣體從泵中排出。轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)動一次，泵就完成兩次吸氣和兩次排氣。當泵繼續(xù)順時針旋轉(zhuǎn)時，旋轉(zhuǎn)葉片泵不斷地通過進氣口吸入氣體，并從排氣口不斷地排出泵外，完成到抽吸容器的目的。為了提高限制真空泵泵定子浸泡在油，和間隙有害空間內(nèi)經(jīng)常保持石油，密封和填補空白空間的有害影響，防止氣體分子通過各通道反向流動到低壓空間。
　　機械泵從大氣開始工作，其主要參數(shù)有極限真空度、抽速，這是機械泵設計和選型的重要依據(jù)。單級泵可將容器從大氣中抽吸至1.0* 10-1Pa的極限真空，兩級機械泵可將容器從大氣中抽吸至6.7* 10-2Pa或還高的極限真空。
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